椭偏仪的选型指南有哪些?

1、根据研究或测试的材料特性来确定光谱范围，进一步选择适合光源的椭偏仪。对于透明材料，考虑关心的折射率光谱区域;对于短波吸收、长波透明材料，如果关心吸收区域折射率及膜厚可扩展到红外透明区域来先确定薄膜厚度，然后求解折射率。

光源椭偏仪的理想光源是强度稳定，从紫外到近红外整个波长范围内输出近似为常数，目前大多选用氦或Hg。氦灯是比较合理的，但是它在uv(低于260nm)强度较弱，而在880~1010nm具有很强的原子辐射谱线。也有采用激光作为光源(HeNe)，进行单色椭偏测量。

2、入射角方式选择。多角度测量增加可靠性，但不是总有必要。多角度最适用于以下几种场合：多层膜结构、吸收膜、各项异性膜、光学常数沿厚度梯度分布的膜等

3、考虑测量准确性与重度性。仪器重复性定义为仪器多次测量的结果的比较，比较容易定义与比较。一般的测准确性时将空气作为标准样品(没有其他理想的标准样品)。

4、比较分析软件。椭偏测量是一种非直接测量模式，数据需要拟合分析得来，所以分析软件的好坏将直接影响到分析结果。

椭偏仪的主要特点是什么?

1、测量速度快。

2、测量方式灵活，既可测量反射膜，也可以测量透射膜。

3、待测薄膜的尺寸可以很小，甚至是1mm也可测量。

4、测量精度高。椭偏仪具有原子层级的灵敏度，对薄膜的测量准确度可以达到1nm，相当于单原子层的厚度。

5、应用范围广，可测量透明膜、无膜固体样品、多层膜、吸收膜和性能、厚度以及吸收程度不同的薄膜。

6、非苛刻性测量，样品可以是块体材料与薄膜。

7、光束引起的表面损伤以及导致的表面结构改变较小。

8、可以同时测量出几个物理量，椭偏光谱能直接得到光学常数的实部和虚部，不需要K-K关系。

9、在椭偏光谱中，被测物质的结构信息(电子的、几何的)是蕴含在反射(或透射)出来的偏振光束中，通过光束本身与物质相互作用前后产生的偏振状态(振幅、相位)的改变反映出来。

关键词： 椭偏仪的选型指南 椭偏仪的主要特点 薄膜的尺寸 光谱范围